Celazole PBI
Celazole PBI(PolyBenzImidazole)I는 오늘날 가용한 모든 플라스틱 중 가장 뛰어난 성능(내열성, 기계적 특성 등)의 플라스틱으로, 다른 프라스틱으로 해결되지 않는 극한의 용도에 사용됨. 반도체 우주항공분야에 주로 사용됨. 200도씨 이상에서도 안정적인 기계적강도 및 내마모성을 가짐
   
   
특성
최고의 사용온도 (310도씨, 일시적으로 500도씨)
광범위한 온도에서 뛰어난 기계적 특성, 강도, 휨내성을 가짐
250도씨 까지 매우 낮은 선형열팽창계수
뛰어난 내마모 내마찰 특성
타고난 낮은 내화염성
좋은 전기절연성, 유전특성(dielectric)
진공 상태에서 낮은 아웃개싱(outgassing)
높은 이온청정도
고에너지 방사선에 대한 뛰어난 내성
내플라즈마성(CF4, F, O2 Ar plasmas)
Celazole U-60 PBI 압축몰드 제품으로 일반 산업용, 화학, 석유화학, 용융유리제조 등
Celazole U-60SD는 반도체용으로 사용되는 순수 그레이드 PBI
- Oxide Etch Chamber Seals : Quartz 대체 수명연장
- Oxide Etch Lifting Pins : Al pin 대체, 웨이퍼 파손 오염 줄임, 핀파손 줄임, 수명연장
- Oxide Etch Chamber Parts : PI 대체, 오염을 줄이며 수명을 2배가량 연장
- Interior Chamber Screws and Components
- Focus Rings
- Wafer Clamps
- Sputtering Chamber Seals
- Sputtering Chamber Clamps and Components
Celazole T-Series는 injection molding 혹은 extrusion용으로 만들어진 PBI 브렌딩 원료임
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