| 1. Ŭ¸° ÄÉÀÌºí Æ÷µå/Ç÷§ (Clean Cable POD / FLAT) | 
            
          
            |   | 
            ¡¤ Ŭ¸° ¹«ºù ÄÉÀ̺í ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ Æ÷µå/Ç÷§ »ý»ê | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ±¹³» ÃÖÃÊ ±¹»êÈ ±â¼ú·Â | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ¿øÃµ ¼ÒÀçÀÎ ePTFE film ÀÚü »ý»êÀ¸·Î ±â¼ú ¹× °æÀï·Â È®º¸ | 
          
          
            |   | 
              | 
          
          
            | 2. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â °í¿Â ´Ü¿Àç | 
            
          
            |   | 
            ¡¤ 250¡É À̻󿡼 ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ´Ü¿ ¹× °¼º À¯Áö | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ¿ø¼ÒÀç+Á¤¹Ð°¡°ø+Èİ¡°ø Àϰý ÇØ°á | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ 400¡É~600¡É¿¡¼ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ´Ü¿Àç | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ³ °¡°øÁ¦Ç°ÀÇ Á¤¹Ð °¡°ø | 
          
          
            |   | 
              | 
          
          
            | 3. ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤ È¿À²À» ³ôÀÌ´Â È÷ÆÃÀÚÄÏ(Heating Jacket), ´Ü¿ ¼ÒÀç | 
            
          
            |   | 
            ¡¤ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ °¡¿°ú º¸¿ÂÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °÷ | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ¿ëµµ¿Í ¸ñÀû¿¡ ¸Â´Â ¼ÒÀç°³¹ß ¹× ¼³°è | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ È÷ÆÃ ÀÚÄÏ¿ë ¼ÒÀç¿¡ ´ëÇÑ Total solution Á¦°ø | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ´Ü¿Àç : Glass, Silica, Nomex(Meta aramid), Aerogel | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ ³»¿ÜºÎ Ä¿¹ö : Teflon coated glass fabric(White, Grey), Pure PTFE fabric,  | 
          
          
            |   | 
		
            | Silicone coated glass fabric, Silica fabric, Alumina fabric | 
		
          
          
            |   | 
            ¡¤ ºÎÀÚÀç : °í¿Â¿ë ÀçºÀ»ç(Glass, Å×ÇÁ·Ð, Äɺí¶ó), °í¿Â¿ë ÂïÂïÀÌ(Nomex, PPS), | 
          
          
            |   | 
		
            | ³¿¬ ÂïÂïÀÌ(³¿¬ º§Å©·Î), ź¼ÒÁ¦·Î, ¿¡³ÊÁö È¿À², »ý»ê¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ º¸¿Â, ´Ü¿ ¼Ö·ç¼Ç | 
		
          
          
            |   | 
              | 
          
          
            | 4. ¹ÝµµÃ¼¿ë Á¤¹Ð ºÎǰ °¡°ø | 
            
          
            |   | 
            ¡¤ PI(Polyimide) PEEK PEI(Ultem) PPS µî °í¼ºÀ» ÇÃ¶ó½ºÆ½ ºÎǰ °¡°ø | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ °í¼º´É ÇÃ¶ó½ºÆ½ º£¾î¸µ °¡°ø | 
          
          
            |   | 
            ¡¤ °øÁ¤ °³¼±À» À§ÇÑ ¼ÒÀç ¼Ö·ç¼Ç Á¦°ø | 
          
          
            |   | 
              | 
          
          
            | 5. Àý¿¬ º¸È£¿ë Å×ÇÁ·Ð ¿¼öÃàÆ©ºê | 
            
          
            |   | 
              | 
          
          
            | 6. ºÎ½Ä¼º Èâ ¹è±â¿ë Å×ÇÁ·Ð Ç÷º½Ãºí È£½º, Æ©ºê | 
            
          
            |   | 
              | 
          
          
            | 7. Àú¿Â Å©¶óÀÌ¿À ÆßÇÁ (Cryopump) ´Ü¿ ¼ÒÀç |