1. Ŭ¸° ÄÉÀ̺í Æ÷µå/Ç÷§ (Clean Cable POD / FLAT) |
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¡¤ Ŭ¸° ¹«ºù ÄÉÀ̺í ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ Æ÷µå/Ç÷§ »ý»ê |
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¡¤ ±¹³» ÃÖÃÊ ±¹»êÈ ±â¼ú·Â |
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¡¤ ¿øõ ¼ÒÀçÀÎ ePTFE film ÀÚü »ý»êÀ¸·Î ±â¼ú ¹× °æÀï·Â È®º¸ |
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2. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â °í¿Â ´Ü¿Àç |
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¡¤ 250¡É À̻󿡼 ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ´Ü¿ ¹× °¼º À¯Áö |
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¡¤ ¿ø¼ÒÀç+Á¤¹Ð°¡°ø+ÈÄ°¡°ø ÀÏ°ý ÇØ°á |
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¡¤ 400¡É~600¡É¿¡¼ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ´Ü¿Àç |
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¡¤ ³ °¡°øÁ¦Ç°ÀÇ Á¤¹Ð °¡°ø |
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3. ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤ È¿À²À» ³ôÀÌ´Â È÷ÆÃÀÚÄÏ(Heating Jacket), ´Ü¿ ¼ÒÀç |
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¡¤ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ °¡¿°ú º¸¿ÂÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °÷ |
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¡¤ ¿ëµµ¿Í ¸ñÀû¿¡ ¸Â´Â ¼ÒÀç°³¹ß ¹× ¼³°è |
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¡¤ È÷Æà ÀÚÄÏ¿ë ¼ÒÀç¿¡ ´ëÇÑ Total solution Á¦°ø |
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¡¤ ´Ü¿Àç : Glass, Silica, Nomex(Meta aramid), Aerogel |
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¡¤ ³»¿ÜºÎ Ä¿¹ö : Teflon coated glass fabric(White, Grey), Pure PTFE fabric, |
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Silicone coated glass fabric, Silica fabric, Alumina fabric |
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¡¤ ºÎÀÚÀç : °í¿Â¿ë ÀçºÀ»ç(Glass, Å×ÇÁ·Ð, Äɺí¶ó), °í¿Â¿ë ÂïÂïÀÌ(Nomex, PPS), |
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³¿¬ ÂïÂïÀÌ(³¿¬ º§Å©·Î), ź¼ÒÁ¦·Î, ¿¡³ÊÁö È¿À², »ý»ê¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ º¸¿Â, ´Ü¿ ¼Ö·ç¼Ç |
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4. ¹ÝµµÃ¼¿ë Á¤¹Ð ºÎÇ° °¡°ø |
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¡¤ PI(Polyimide) PEEK PEI(Ultem) PPS µî °í¼ºÀ» Çöó½ºÆ½ ºÎÇ° °¡°ø |
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¡¤ °í¼º´É Çöó½ºÆ½ º£¾î¸µ °¡°ø |
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¡¤ °øÁ¤ °³¼±À» À§ÇÑ ¼ÒÀç ¼Ö·ç¼Ç Á¦°ø |
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5. Àý¿¬ º¸È£¿ë Å×ÇÁ·Ð ¿¼öÃàÆ©ºê |
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6. ºÎ½Ä¼º Èâ ¹è±â¿ë Å×ÇÁ·Ð Ç÷º½Ãºí È£½º, Æ©ºê |
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7. Àú¿Â Å©¶óÀÌ¿À ÆßÇÁ (Cryopump) ´Ü¿ ¼ÒÀç |